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表面處理裝置包括容器，其容納被處理體；表面處理單元，其具有處理室，該處理室具有容納容器的空間，并導(dǎo)入用于對(duì)被處理體的表面進(jìn)行處理的氣體；以及容器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使容納被處理體的容器進(jìn)行往返動(dòng)作或擺動(dòng)動(dòng)作中的至少一個(gè)動(dòng)作。