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 概況和原理 JKT高真空抽氣機組，以羅茨滑閥機組作為預(yù)抽，擴散真空泵作為主泵的一種高真空機組。擴散泵主 體及擋板均有改進，使得在較低真空鄰域抽速有較大程度的提高。JKT機組可用來抽除真空系統(tǒng)內(nèi)的空氣 和其它對泵結(jié)構(gòu)材料及泵油不起化學(xué)反應(yīng)的氣體，使被抽系統(tǒng)獲得10~10Pa的低氣壓（高真空）環(huán)境。 JKT擴散機組可作為真空冶煉、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空侵漬、太空模擬 實驗裝置等高科技設(shè)備的高真空獲得裝置，以及其他需要在10~10Pa的低氣壓環(huán)境下工作的真空系統(tǒng)的配 套設(shè)備。 |
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